實現(xiàn)超高純鋁及其合金鍍膜材料國產(chǎn)化
發(fā)布時間：2016-05-31 09:19:35 字體大?。?SPAN id=ntf1 onclick=setFos(1)>小中大
隨著電子信息產(chǎn)品市場的快速發(fā)展以及各行業(yè)信息化建設(shè)的持續(xù)深入，高性能芯片、新型顯示等電子器件市場廣闊。薄膜材料是電子器件制造的關(guān)鍵支撐，其中鋁薄膜由于具有電阻率較低、易沉積、易刻蝕、工藝成熟等優(yōu)點，成為集成電路、分立器件、液晶顯示等領(lǐng)域的關(guān)鍵材料。制備鋁薄膜用的超高純鋁鍍膜材料主要包括蒸發(fā)材料和濺射靶材等，它們是隨著我國電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展而興起的鋁材高端應(yīng)用領(lǐng)域。
早期超高純鋁及鋁合金蒸發(fā)材料和靶材的生產(chǎn)企業(yè)主要集中在美國、日本和法國等地，中國研發(fā)起步較晚。我國是全球能夠生產(chǎn)超高純鋁的國家之一，但是在超高純鋁材料的純度與合金種類、超高純鋁薄膜材料應(yīng)用于電子信息行業(yè)開發(fā)和應(yīng)用方面，國內(nèi)公司與國際知名公司有差距，產(chǎn)能也不能滿足國內(nèi)市場。
我國是世界最大的電解鋁冶煉初加工生產(chǎn)基地，鋁及鋁合金材料與加工行業(yè)普遍面臨產(chǎn)能過剩、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)不合理、產(chǎn)業(yè)技術(shù)支撐尚顯不足等問題，制約了全行業(yè)的良性循環(huán)發(fā)展，本項目涉及的電子信息用超高純鋁及其合金蒸發(fā)材料和靶材是電子信息行業(yè)的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料之一，符合有色金屬工業(yè)中長期科技發(fā)展規(guī)劃的要求，也符合新材料產(chǎn)業(yè)“十二五”發(fā)展規(guī)劃要求，是傳統(tǒng)有色金屬工業(yè)轉(zhuǎn)型升級、開發(fā)高附加值深加工產(chǎn)品的重要示范。
有研億金新材料有限公司聯(lián)合北京有色金屬研究總院，在國家863計劃重點項目、北京市有關(guān)部門科技計劃項目以及企業(yè)自主研發(fā)項目的資助下，建立了超高純鋁及其合金鍍膜材料制備成套加工技術(shù)體系，實現(xiàn)了電子信息領(lǐng)域超高純鋁蒸發(fā)材料、半導(dǎo)體用鋁及其合金靶材、平板顯示用大尺寸鋁靶材等全系列鍍膜材料的開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。
此外，公司積極開展國內(nèi)外市場開拓，根據(jù)市場需求，進行超高純鋁材料相關(guān)的新技術(shù)、新產(chǎn)品開發(fā)。項目旨在建立完整的高性能超高純鋁及其合金鍍膜材料制備加工技術(shù)體系，實現(xiàn)了電子信息領(lǐng)域超高純鋁蒸發(fā)材料、半導(dǎo)體用鋁及其合金靶材等全系列鍍膜材料的開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。
“電子信息用超高純鋁及其合金鍍膜材料的關(guān)鍵技術(shù)開發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目為促進我國實現(xiàn)超高純鋁及其合金鍍膜材料國產(chǎn)化和本地化供應(yīng)提供有力的技術(shù)支撐。
超高純鋁鍍膜材料的研制包括超高純鋁及其合金蒸發(fā)材料和濺射靶材成套技術(shù)開發(fā)及應(yīng)用。要求產(chǎn)品性能指標滿足電子信息應(yīng)用領(lǐng)域嚴格的鍍膜要求，通過客戶的應(yīng)用認證實現(xiàn)批量生產(chǎn)，質(zhì)量穩(wěn)定、性能可靠并達到國際同類產(chǎn)品標準。
產(chǎn)品研制開發(fā)需要在超高純金屬的鑄造成型、塑性變形加工、熱處理、連接成形、精密制造加工、分析測試技術(shù)及結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計等方面實現(xiàn)技術(shù)突破再進行綜合集成。
有研億金新材料有限公司依托北京有色金屬研究總院在有色金屬材料領(lǐng)域的綜合優(yōu)勢，從小尺寸的鋁蒸發(fā)材料研發(fā)起步，到4~6”小尺寸半導(dǎo)體用濺射靶材、8~12”大尺寸半導(dǎo)體用濺射靶材，再到高代線大尺寸平板顯示用濺射靶材的研制，歷經(jīng)10年時間，實現(xiàn)了超高純鋁鍍膜材料全面技術(shù)突破，開發(fā)出超高純新型鋁合金制備技術(shù)、超高純鋁蒸發(fā)材料高效短流程潔凈制造技術(shù)、超高純鋁及其合金靶材微觀組織精細調(diào)控技術(shù)、超高純鋁及其合金靶材與背板的高可靠連接技術(shù)、高利用率靶材結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計等關(guān)鍵技術(shù)，在產(chǎn)品性能達標的同時解決了大尺寸靶材工程化實施難題。
通過項目的實施，發(fā)表文章21篇，制定鋁靶材和蒸發(fā)料相關(guān)國家/行業(yè)標準4項，獲得北京市自主創(chuàng)新產(chǎn)品認定1項、北京市新技術(shù)新產(chǎn)品認定1項，北京市高新技術(shù)成果轉(zhuǎn)化1項。項目驗收及專家評價階段，國家863計劃重點項目和北京市有關(guān)部門科技計劃重大項目均通過考核指標，并給與了高度的評價，一致通過驗收。科學(xué)技術(shù)成果評價該項目技術(shù)經(jīng)濟指標先進，經(jīng)濟、社會效益顯著，項目總體達到國內(nèi)領(lǐng)先、國際先進水平。
有研億金新材料有限公司技術(shù)實力雄厚，匯聚薄膜材料領(lǐng)域內(nèi)眾多一流的科研生產(chǎn)精英，專業(yè)技術(shù)人才超過員工總數(shù)50%，高學(xué)歷、高職稱人才比例高達40%，同時擁有一支技術(shù)過硬經(jīng)驗豐富的技術(shù)工人隊伍。通過與電子信息市場高端客戶合作完成了各種產(chǎn)品的考核驗證，薄膜性能達到國際同等水平，最終實現(xiàn)了超高純鋁蒸發(fā)材料、靶材的規(guī)?；a(chǎn)線建設(shè)及生產(chǎn)質(zhì)量控制體系建設(shè)。
超高純鋁鍍膜材料在國內(nèi)絕大部分半導(dǎo)體企業(yè)和重要面板企業(yè)都實現(xiàn)批量穩(wěn)定銷售。
本項目已經(jīng)形成具有我國自主知識產(chǎn)權(quán)的高端超高純鋁及其合金制品加工制造技術(shù)并建立相關(guān)產(chǎn)業(yè)，加速高端高純薄膜材料以面帶動整體的全方位發(fā)展效應(yīng)，極大地促進傳統(tǒng)有色金屬工業(yè)的深加工和產(chǎn)業(yè)延伸技術(shù)的提升，并完善我國先進的電子信息制造業(yè)及其配套產(chǎn)品的供應(yīng)鏈。
多年來，有研億金新材料有限公司致力于超高純鍍膜材料的國產(chǎn)化和本地化供應(yīng)，積極努力打造國產(chǎn)鍍膜材料品牌，在我國電子信息制造產(chǎn)業(yè)的發(fā)展過程中貢獻力量。
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